《汉语大词典》三者均收，释义几乎相同，从书证看“维妙维肖”出现得最早。
《汉语大词典》：
【維妙維肖】形容描绘、模仿得逼真传神。清冯镇峦《读聊斋杂说》：“形容維妙維肖，仿佛《水經注》造語。”钱锺书《围城》六：“‘咦！怎么没收到？’高松年直跳起来，假惊异的表情做得维妙维肖。”马南邨《燕山夜话·十日一水，五日一石》：“我们曾经见过齐白石画虾，好像下笔便是，容易得很；殊不知他的每一笔都经过了无数次细心观察，反复练习，到了维妙维肖而后已。”
【惟妙惟肖】非常相像，非常逼真。陈祖芬《祖国高于一切》：“说来也怪，只有她出走之后，他这做丈夫和父亲的人，才充分地领略了这一切遗传上的惟妙惟肖之处。”
【唯妙唯肖】形容描写或模仿得非常巧妙，非常逼真。老舍《赵子曰》第十四：“这样从锣鼓中把古人的一举一动形容得唯妙唯肖。”杨沫《青春之歌》第一部第十一章：“她唯妙唯肖地学着蒋介石的声调、神色，和她那美丽轻盈的姿态一对比，逗得满屋子人又是一阵哄堂大笑。”
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“惟×/唯×”系列异形词大都以“唯×”为准，“维妙维肖/惟妙惟肖/唯妙唯肖”为什么不能以“唯妙唯肖”为准？《中国成语大辞典》便是以“唯妙唯肖”为准的。
